“一种大长径比TiAl管靶材成形方法”获国家发明专利

　　中国运载火箭技术研究院航天材料及工艺研究所研发的“一种大长径比TiAl管靶材成形方法”获国家发明专利。
　　随着装饰镀膜、集成电路、平面显示器及工具表面涂层等产业的发展，对镀膜用溅射靶材的需求也越来越多。管靶材是溅射靶材的一种，具有利用率高、镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点。但以往采用熔炼工艺制备大长径比管靶材难度大、成品率低，采用喷涂技术成形的TiAl管靶材则存在致密度低、氧含量高等缺点。
　　该发明克服了上述不足，制备的大长径比TiAl管靶材致密度高、氧含量低、质量稳定可靠，可应用于高端镀膜产品。